反射式膜厚儀RM1000/RM2000
名稱:涂鍍層測厚儀
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簡介:簡單信息: RM1000/RM2000 反射式膜厚儀紫外可見光譜反射干涉式膜厚儀,又叫白光干涉儀,可測量分析膜厚、光學常數、材料組分。可測量SiNx / mcSi單晶硅太陽能電池防反膜。 SENTECH Reflectometer RM能夠...
簡單信息: RM1000/RM2000 反射式膜厚儀紫外可見光譜反射干涉式膜厚儀,又叫白光干涉儀,可測量分析膜厚、光學常數、材料組分。可測量SiNx / mcSi單晶硅太陽能電池防反膜。
SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對單層膜、多層膜和基底材料進行高精度反射光譜測量。可對吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率
關鍵特性:
• 高精度反射率測量,非接觸,正入射光
• 寬光譜范圍,可從 UV至NIR
• 測量反射率曲線R, 薄膜厚度,折射率
• FTPexpert 軟件,用于測量薄膜的光學參數
• 測量半導體混合物的組分 (例如: AlGaN on GaN)
• 分析各向異性薄膜
選項:
• 光譜范圍擴展至DUV (200 nm)
• 光譜范圍拓展至NIR (1700 nm)
• x-y 地貌圖掃描樣品臺和軟件
• 攝象頭
• PC
商品名稱: 反射式膜厚儀
商品型號: RM1000/RM2000
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