捷歐路JEOL BS-80011BPG 產生高密度等離子體的內置型等離子體槍
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簡介：捷歐路JEOL BS-80011BPG 產生高密度等離子體的內置型等離子體槍是安裝在真空室內產生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結合的等離子體輔助沉積技術（離子鍍），能提高光學薄膜、保護膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離...
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捷歐路JEOL BS-80011BPG 產生高密度等離子體的內置型等離子體槍是安裝在真空室內產生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結合的等離子體輔助沉積技術（離子鍍），能提高光學薄膜、保護膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對清洗基板和表面改性也很有效。
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