布魯克Bruker JVX7300RF-T 半導體計量儀
名稱：其他儀器與工具
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簡介：JVX7300RF-T特征與小點多通道測量平臺光譜儀和快速XRR渠道,為測量薄金屬層堆棧產品或毯子晶片。金屬的工具是專為高級過程控制和透明的電影線(BEOL)的后端,MEOL和前端的線(FEOL)先進的半導體工藝(邏輯、DRAM、閃存和硬盤...
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- 產品介紹
布魯克Bruker JVX7300RF-T 半導體計量儀的特征為與小點多通道測量平臺光譜儀和快速XRR渠道,為測量薄金屬層產品或毯子晶片。金屬的工具是專為高級過程控制和透明的電影線(BEOL)的后端,MEOL和前端的線(FEOL)先進的半導體工藝(邏輯、DRAM、閃存和硬盤驅動器過程線)。
FastXRR通道,波束寬度的< 50µm,能夠測量再計算。FastXRR無損、非接觸式方法,第一原則是理想的測量厚度、密度以及電影和棧的插入中間/表面粗糙度測量結果。它可以用于分析種子/障礙的電影,與兩層的厚度決定獨立于一個單一的測量。
小點光譜儀頻道,光斑大小的< 25µm,能夠測量計量墊的要求最高,甚至映射在一個銅碟形墊。
如果您需要布魯克Bruker JVX7300RF-T 半導體計量儀及布魯克品牌儀器、或者其他品牌儀器，均可聯絡我司銷售部門：0731-84284278 84284378。
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