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FEI Quanta 200環境掃描電子顯微鏡加速電壓0-30KV，分辨率3.5nm，有效放大倍數10萬倍以下.
能譜儀（EDS）:材料成分分析;背散射電子衍射（EBSD）:晶體結構、織構分析等。
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