S530 參數測試系統 

適用于必須操作各種設備和技術的生產和實驗室環境，提供業界領先的測試計劃靈活性、自動化、探頭測試臺集成以及測試數據管理功能。Keithley 擁有超過 30 年的專業經驗，針對這些測試解決方案的設計向全世界的客戶提供各種標準和自定義參數化測試儀。
 

S530 功能

• 能輕松適應新設備和測試要求
• 快速、靈活、交互式測試計劃制定
• 兼容于常見的全自動探頭測試臺
• 提供 1kV、C-V、脈沖生成、頻率測量和低壓測量選項
• 兼容于 Keithley 的 9139A 型探頭卡適配器
• 支持重復使用現有的五英寸探頭卡庫
• 經驗證的儀器技術確保在實驗室和工廠中實現高測量精度和可重復性

S535 多站點晶片驗收測試系統 

是一種大功率、高分辨率晶片級解決方案，用于跨制作工作流測試應用中的模擬、電動、混合信號和離散設備。與在一個站點上同時測試多臺設備的傳統異步并行測試方案不同，S535 的多站點并行測試方法在多個站點上同時測量多臺設備。這將探測器索引時間至少縮短 2 倍，從而提高制作生產率并降低測試成本。

S535 特點

• 在多站點并行或連續運行中自動執行所有晶片級直流參數測試。觸摸一次探頭測試兩個或四個站點。
• 多達 64 根測試針：并行測試四個站點，每個站點 16 根針；并行測試兩個站點，每個站點 32 根針；連續測試一個站點，64 根針
• 高達 100 W 運行：1 A 時 100 V；100 mA 時 200 V
• 在高速、多針、完全自動的測試環境中 1 fA、10 nV 分辨率
• 基于 Linux 的 Keithley 測試環境 (KTE) 系統軟件兼容原有 Keithley 測試系統、支持輕松進行測試開發和快速執行。
• Keithley S530 型探頭卡基礎設施也支持原有的 S400 應用

S540 參數測試系統 

是一個全自動化的 48 引腳參數測試系統，適用于高達 3kV 的功率半導體器件和結構的晶片級測試。完全集成式 S540 已針對包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內的最新復合功率半導體材料進行優化，可以在單次測試觸摸中執行所有高電壓、低電壓和電容測試。

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執行所有晶片級參數測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎設施
• 在最高達 3kV 的條件下執行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳
• 在高速、多引腳、全自動測試環境中實現低電平測量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 測試環境 (KTE) 系統軟件支持輕松進行測試開發和快速執行
• 非常適合于過程集成、過程控制監控和生產芯片分類中的全自動或半自動應用
• 通過最大程度減少測試時間、測試設置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現實驗室級測量性能

S500 集成式測試系統 

是高度可配置的、基于儀器的系統，適用于器件、晶片或暗盒級半導體檢定。S500 集成式測試系統基于我們經過驗證的儀器，提供創新的測量功能和系統靈活性，并且根據您的需求可進行擴展。獨有的測量能力結合強大而靈活的自動化檢定套件 (ACS) 軟件，提供市場上其他同類系統無法提供的廣泛應用和功能。 
 

S500 功能

• 全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術規格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設備上都能執行廣泛的測量。
• 適用于內存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。
• 利用支持 Keithley 系統的可擴展 SMU 儀器，提供低或高通道數系統，包括并行測試。
• 適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。
• 開關、探頭卡和布線保證系統完全適用于您的 DUT。